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莫特高純氣體過濾器可對(duì)低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對(duì)數(shù)過濾，從而產(chǎn)生無顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過濾效率、強(qiáng)度和可靠性，GasShield POU全金屬氣體過濾器是超高純（UHP）氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級(jí)工藝氣體兼容。

不銹鋼過濾介質(zhì)

• 操作條件：

max工作壓力：3750 psig（258.5 barg）

惰性氣體的highest工作溫度：450°C

max壓差：1000磅/平方英寸（68.9巴）

• 材料：

五金件：316L SS

過濾介質(zhì)：316L SS

潤(rùn)濕硬件表面光潔度：5 Ra，電拋光

• 過濾器效率（對(duì)數(shù)折減值）：

≥9 LRV（顆粒減少99.9999999%）。

根據(jù)SEMI F38-0699測(cè)試方法，確定最大穿透粒度為0.08μm

• 顆粒去除尺寸：≥0.0015μm

• 氦氣泄漏等級(jí)：1 x 10-9 atm cc/sec

• 水分貢獻(xiàn)：根據(jù)SEMI F27測(cè)試方法，在低流量環(huán)境吹掃下1小時(shí)后<10 ppb

• 總碳?xì)浠衔铮旱陀赟EMASPEC 90120396B測(cè)試方法的可檢測(cè)限值

• 顆粒脫落：根據(jù)SEMI F43-0308試驗(yàn)方法，背景以上的顆粒貢獻(xiàn)為零（<1顆粒/ft3）

• 產(chǎn)地：美國(guó)